电气工程与智能制造学院组织学生开展校外认识实习

       5月19日，2023级集成电路与集成系统专业的33名学生，在电子系邓贻香老师的带领下，赴重庆邮电大学光电工程学院开展了为期1天的校外认识实习。此次认识实习分别参观了光刻室、氧化扩散室、金属化室以及清洗刻蚀室，让学生们对双极型集成电路制造工艺流程有了一定的了解。
       重庆邮电大学实验老师王智鹏首先给学生作了现场安全讲解和微电子实验设备安全讲解，着重提出在参观和实习期间一定要重视安全问题、不懂要问、不能随意触碰实验设备或化学用品。
       在光刻室，王老师给学生们介绍了光刻工艺流程，实现从掩模版到光刻胶的图形转移，为扩散做准备。通过王老师的讲解，让学生对光刻工艺的每一个流程有了一定了解。然后，学生们来到氧化扩散实验室，了解程控扩散系统原理，该系统通过高温热处理工艺实现氧化硅薄膜生长或半导体材料扩散掺杂，为集成电路制造工艺提供氧化硅介质薄膜或调节材料电导率。

       接着，在王老师的带领下来到金属化实验室，学生们了解了磁控溅射台，该设备通过等离子溅射，实现金属材料镀膜，为集成电路布线做准备，让学生了解金属布线流程，金属化原理、设备操作及安全规范。金属氧化室主要完成真空蒸发和磁控溅射技术的金属薄膜实验，实现器件或集成电路中的金属接触，为金属布线做准备。

       最后，学生们参观了清洗刻蚀室，了解清洗和湿法刻蚀操作流程，了解清洗和刻蚀原理、试剂选取与配制、设备操作及安全规范。让学生了解清洗流程：准备试剂-清洗-冲洗，刻蚀流程：准备试剂-刻蚀-冲水。清洗刻蚀室主要完成硅片与石英管的清洗，以及光刻后图形的刻蚀。

       通过此次认识实习，使学生较全面地熟悉集成电路制造的环境条件、设备特点、技术原理、生产过程以及安全规范，了解和掌握本专业基础的生产实际知识，巩固和加深已学过的理论知识，并为后续专业课的教学、课程设计、毕业设计打下基础。(邓贻香/图 邓贻香/文 传媒中心 冷培杨/编辑)